Áp dụng cho quy trình đánh bóng vật liệu bìa siêu cứng Sapphire hoặc SIC, giao diện người-máy giúp vận hành thuận lợi, thân máy tăng cường thiết kế thanh đỡ, độ ổn định cao hơn, có chức năng làm mát bằng nước.
Quy trình và Máy mài và Đánh bóng Sapphire được sử dụng cho: ¢ Chất nền/tấm sapphire™ Tấm wafer bán dẫn: cacbua silic, tấm wafer silicon 12 inch, lithium tantalate, lithium niobate, v.v.⢠Các bộ phận cacbua vonfram ¢ Gốm các bộ phận™ Van™ thủy tinh pha lê™ Bộ phận tạo dao động
Máy Mài & Đánh bóng có thể làm gì? Mài & Đánh bóng được sử dụng cho: ⢠Tấm wafer silicon 4,6,8,12 inch⢠Chất nền/tấm wafer sapphire¢ Các bộ phận cacbua vonfram¢ Bộ phận gốm¢ Van¢ thủy tinh pha lê™ wafer silicon carbide